特許
J-GLOBAL ID：200903056199300386
集積型SPMセンサーおよび変位検出回路
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-169598
公開番号（公開出願番号）：特開平8-035976
出願日： 1994年07月21日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】ピエゾ抵抗層の発熱に影響されることなく、正確な変位量を検出できる集積型SPMセンサーを提供する。【構成】集積型SPMセンサーは支持部14から延出したU字状のカンチレバー12を有している。カンチレバー12は絶縁層22を中心に上下に対称的な積層構造となっている。絶縁層22の上下面にはそれぞれ同じ厚さのシリコン層20とシリコン層24が設けられている。シリコン層24の下面とシリコン層20の上面にはそれぞれ同じ厚さのピエゾ抵抗層26と28が形成されている。ピエゾ抵抗層26と28は、たとえば、シリコン層24の下面とシリコン層20の上面に所定の濃度でボロンを打ち込むことにより形成される。ピエゾ抵抗層26の先端部の下面には探針30が形成されている。探針30の先端部分を除いて、カンチレバー12と支持部14の全体を覆う絶縁膜32が設けられている。
請求項（抜粋）：
支持部と、支持部から延びた柔軟なカンチレバーとからなり、カンチレバーは中心の層に対して同じ材料の層が上下に対称的に積層された積層構造体で構成されており、積層構造体はカンチレバーの歪みに応じて抵抗値が変化する同一形状の二つの抵抗層を含み、抵抗層はカンチレバーの先端部において互いに一体化している複数の帯状部を有している、集積型SPMセンサー。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, H01J 37/28
