レーザ顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-216714
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063508
出願日： 1993年08月31日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】トレンチ構造やセラミックスの粒界破壊等のような深い溝構造をもつ試料を解像度高く映し出して、その寸法測定を可能とするレーザ顕微鏡を提供する。【構成】このレーザ顕微鏡33には、レーザ光20のスポットサイズを小さく絞るとともに焦点深度を深くするためのアキシコンプリズム27およびリレーレンズ28が備えられている。また、試料を移動させることによってこの試料における所定の観察領域内に前記レーザ光を照射させるスキャナー31およびスキャンコントローラ32が備えられている。

請求項（抜粋）：

レーザ光のスポットサイズを小さく絞るとともに焦点深度を深くする特性を有する集光機器と、試料を移動させることによってこの試料における所定の観察領域内にレーザ光を照射させる走査機器とを具備したことを特徴とするレーザ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01B 9/04 , G01B 11/02 , G02B 21/00 , G02B 27/09

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-171415
特表平5-501004
特開平4-171415

全件表示

前のページに戻る