特許
J-GLOBAL ID：200903056220342493
磁気記録媒体の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-328805
公開番号（公開出願番号）：特開2001-143254
出願日： 1999年11月18日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：
【要約】【課題】 磁気記録媒体のDLC(ダイアモンドライクカーボン)保護膜の厚さを均一化し、信頼性の向上を図る。【解決手段】 磁気記録媒体用基板11の前に網目状のグリッド電極12を載置し、これに電源13から電圧を印加することでイオンを加速する方式のプラズマCVD装置において、媒体の保護層となるDLC膜を形成するに当たり、グリッド電極12をモータ14で回転させることにより、これを静止状態で加工する場合に比べて網目状模様のつかない、均一な保護膜を形成し得るようにする。
請求項（抜粋）：
基板上に形成されている磁気記録層上に、炭化水素ガスを主原料とするプラズマCVDによりカーボン系保護膜を形成する磁気記録媒体の製造装置において、前記プラズマCVD装置に載置された基板の前に網目状のグリッド電極を配置し、このグリッド電極に負の電圧を印加しつつ回転させることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
4K030AA09
, 4K030BA27
, 4K030CA02
, 4K030FA02
, 4K030KA15
, 4K030KA19
, 4K030LA20
, 5D112AA07
, 5D112BC05
, 5D112FA10
, 5D112FB21
