特許
J-GLOBAL ID：200903056223250832
熱処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-130193
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299370
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 縦型熱処理炉内に被処理体を搬入直後直ちに、チューブ下端開口を閉鎖できる熱処理装置を提供すること。【構成】 上方に面状発熱源18を配置してなる縦型熱処理炉12の上端には、ガス導入部60が連通して設けられ、このガス導入部60に沿って昇降可能な吊下げ軸38が配置され、その先端にウエハ28の支持部42が固着される。縦型熱処理炉12の下端開口12aを密閉する蓋118は、蓋駆動部110より昇降される。
請求項（抜粋）：
縦型熱処理炉内にて被処理体を熱処理する熱処理装置において、前記縦型熱処理炉の上端と連通して鉛直上方に伸びる案内管と、この案内管に沿って昇降する軸部及びこの軸部の下端に設けられた被処理体支持部から成り、前記軸部の昇降により前記被処理体を前記縦型熱処理装置内に設定し、かつ、前記縦型熱処理炉の下端開口より前記被処理体を搬入出する被処理体駆動部と、前記被処理体が前記縦型熱処理炉内に搬入された後に前記下端開口を気密に密閉する蓋部材と、を有することを特徴とする熱処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/22
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H01L 21/324
