特許
J-GLOBAL ID：200903056225266027
照射角度を変えられるプロキシミティ露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長澤 俊一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213266
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154658
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 ワークへの光の照射角度を変えることができるプロキシミティ露光装置を提供すること。【解決手段】 出射部10bは基台21上に固定され、光源部10aは軸受26,27により軸支されている。ランプ1が放出する光は楕円集光鏡2で集光され、マスクMを介してワークWに照射される。基台21の両端部は円弧状アーム22,23のガイドに係合しており、基台21を回動させることで出射部10bが傾きワークWに斜め方向から光を照射することができる。光源部10aは軸受26,27により支持されており、基台21を傾けても光源部10aのランプを垂直状態に保持できる。また、ボールスプライン等で光源部10aの移動方向を水平方向に規制し、図示しない駆動手段により光源部10aを移動させることにより、光源部10aを垂直に保持したまま出射部10bを傾けることもできる。
請求項（抜粋）：
紫外線を含む光を放出する光照射部と、マスクと、該マスクを保持するマスクステージと、ワークと、該ワークを保持するワークステージとを備えたプロキシミティ露光装置において、上記光照射部からの光がワークに対して斜め方向から照射されるように光照射部を傾ける機構を設けたことを特徴とするプロキシミティ露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 509
, G03F 7/20 521
