特許
J-GLOBAL ID：200903056226784315
真空ポンプにおける運転停止制御方法及び運転停止制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-318893
公開番号（公開出願番号）：特開2003-120543
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：
【要約】【課題】真空ポンプが運転状態から運転停止状態へ移行する際のポンプ室への油侵入を防止する。【解決手段】リヤハウジング14内の回転軸19,20には環状の軸封環体49,50が嵌合して固定されている。軸封環体49,50とリヤハウジング14との間にはラビリンスシール57,58及び螺旋溝61,62が設けられている。インバータ65は、制御装置75の指令制御に基づいて電動モータMの回転速度制御を行なう。制御装置75は、回転軸19,20の回転速度が一定の減速度よりも大きい減速度で減速開始した後、前記一定の減速度よりも小さい減速度で減速するように制御する。
請求項（抜粋）：
ポンプ室と隣接するように油存在領域を形成するオイルハウジングと、前記オイルハウジングを貫通して前記油存在領域に突出する回転軸に沿って前記油存在領域から前記ポンプ室へ油が侵入するのを防止するための非接触型油侵入防止手段とを備え、前記回転軸の回転に基づいてポンプ室内のガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたらす真空ポンプにおいて、前記ポンプ室と前記油存在領域との間の最大差圧が前記回転軸の完全停止よりも前に生じるように前記回転軸の回転速度を減速するようにした真空ポンプにおける運転停止制御方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04B 39/04 F
, F04B 49/02 331 F
3H003AA05
, 3H003AB07
, 3H003AC01
, 3H003BH04
, 3H003CA01
, 3H045AA05
, 3H045AA09
, 3H045AA12
, 3H045AA25
, 3H045AA38
, 3H045BA07
, 3H045BA41
, 3H045DA07
