特許

J-GLOBAL ID：200903056241960219

X線分析装置

発明者： 河 辺 一 保
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-365412
公開番号（公開出願番号）：特開2002-168813
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
要約：

【要約】【課題】 短時間での微量元素の分析を可能にしたX線分析装置を提供する。【解決手段】 複数の超伝導放射線検出器6A,6B,......,6Nを設け、各検出器に対して,それぞれ、信号処理回路7A,7B,......,7N及びマルチチャンネルアナライザー8A,8B,......,8Nを設け、各マルチチャンネルアナライザーの出力を加算器12で加算し、該加算器の出力に基づいてX線スペクトルを表示するように成した。

請求項（抜粋）：

試料面に粒子線を照射し、試料より発生するX線に基づいて試料の分析を行うようにしたX線分析装置において、複数の超伝導放射線検出器、各超伝導放射線検出器それぞれに繋がった信号処理回路、各信号処理回路それぞれに繋がったマルチチャンネルアナライザ、及び、各マルチチャンネルアナライザの出力信号を加算する加算手段を備え、該加算手段の出力信号に基づくX線スペクトルを得るように成したX線分析装置。

IPC (3件)：

G01N 23/225 ,  G01T 1/36 ,  G21K 5/04

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  G01T 1/36 B ,  G21K 5/04 E

Fターム (15件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001FA06 ,  2G001GA01 ,  2G001HA01 ,  2G001JA13 ,  2G001KA01 ,  2G001RA03 ,  2G088EE29 ,  2G088FF03 ,  2G088FF15 ,  2G088HH10