特許

J-GLOBAL ID：200903056243102856

イオンガン

発明者： 倉 田 和 也
出願人/特許権者： 株式会社 テクマート
代理人 (1件)： 秋山 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-356665
公開番号（公開出願番号）：特開平10-188834
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】 周波数調整を容易にし、形状の小さいイオンガンを得る。【解決手段】 2極放電管10のカソード13に電極貫通口13aを設け、パイプ14より放電管10に送り込んだアルゴンガスを図示しない電離装置で電離させ、電離させたアルゴンガス分子をカソード13に引き付ける。カソード13には電極貫通口13aが設けられているので、そこを通過したアルゴンガス分子が水晶振動子20の電極21に衝突して、電極21のエッチングを行う。

請求項（抜粋）：

2極放電管に送り込まれたガス分子を加速して対象物に衝突させることによって対象物の加工を行うイオンガンにおいて、前記ガス分子が引きつけられる電極の一部に前記ガス分子が通過できる貫通口を設けたことを特徴とするイオンガン。

IPC (5件)：

H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H01L 21/3065 ,  H03H 3/02 ,  H01L 21/205

FI (5件)：

H01J 27/02 ,  H01J 37/08 ,  H03H 3/02 A ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 D