特許
J-GLOBAL ID：200903056244269240

板ガラスの厚み検査方法および装置

発明者：
奥川 真也

奥川 真也 について


出願人/特許権者：
セントラル硝子株式会社

セントラル硝子株式会社 について


代理人 (1件)： 西 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-012427
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201319
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
要約：
【要約】【課題】板ガラスの厚みに起因する透視像のひずみにおいて、板ガラスの表面付近の不均質性に起因する厚みむらを知ることは、板ガラスの製造条件を検討するために特に重要である。この厚みむらを検討するためには、厚みを0.01μmの精度で厚みを測定しなければならない。【解決手段】板ガラスの表面からの反射光のスクリーンに投影し、スクリーンに投影された映像の照度より求めた板ガラスの表面の凹凸データにより、該板ガラスの厚み分布を求める。
請求項（抜粋）：
板ガラスの厚み分布を光学的な方法を用いて検出する方法において、板ガラスの2つの表面の反射光の強度より求めた表面の凹凸値を合成して、該板ガラスの厚み分布を求めることを特徴とする検査方法。
IPC (2件)：
G01B 11/06 ,  G01B 11/24
FI (2件)：
G01B 11/06 H ,  G01B 11/24 K
Fターム (25件)：
2F065AA30 ,  2F065AA51 ,  2F065BB01 ,  2F065BB22 ,  2F065BB25 ,  2F065CC00 ,  2F065DD06 ,  2F065EE04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF49 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG03 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH02 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ14 ,  2F065JJ26 ,  2F065NN17 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ27
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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