特許

J-GLOBAL ID：200903056244878939

焦電性基材の分極方法及びその装置

発明者： 川島 雅人 ,  宮川 展幸
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 安藤 淳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-151051
公開番号（公開出願番号）：特開2002-344035
出願日： 2001年05月21日
公開日（公表日）： 2002年11月29日
要約：

【要約】【課題】 焦電性基材を分極する際に、焦電性基材の不純物濃度や組成比、結晶欠陥の量によらず、各ロット間で分極量のバラツキのない処理を行うことのでき、制御性良く所望の分極率を得ることができる焦電性基材の分極方法及びその装置を提供することにある。【解決手段】 焦電性基材1を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材1の非製品部分2の検査用分極部分3の表裏に一対のプローブ4a、4aを接触させて電圧を印加し、該非製品部分2に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量Aとし、該非製品部分2の基準電荷量Aに基づいて製品部分5に必要な目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量Bを設定し、所望の電荷量Bまで電圧を印加し、単一分域を形成するようにしたものである。

請求項（抜粋）：

焦電性基材を電圧印加により分極する際に、予め焦電性基材の非製品部分の検査用分極部分の表裏に一対のプローブを接触させて電圧を印加し、該検査用分極部分に所定の電圧を印加して流れる電荷量を基準電荷量とし、製品部分の表裏面に形成された所定面積の電極に製品部分の分極プローブ対を配設し、前記検査用分極部分の基準電荷量に基づいて,この製品部分の目標とする分極率から分極反転に必要な電荷量を設定し、所望の電荷量まで電圧を印加し、単一分域を形成することを特徴とする焦電性基材の分極方法。

IPC (4件)：

H01L 37/02 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01N 27/00

FI (4件)：

H01L 37/02 ,  G01J 1/02 Y ,  G01J 5/02 P ,  G01N 27/00 Z

Fターム (17件)：

2G060AA09 ,  2G060AE40 ,  2G060AF20 ,  2G060AG11 ,  2G060EA04 ,  2G060EA07 ,  2G060EB08 ,  2G060HC12 ,  2G060HC13 ,  2G060KA16 ,  2G065AB02 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065DA20 ,  2G066BA02 ,  2G066BA55 ,  2G066CA20