特許

J-GLOBAL ID：200903056251517070

基板へのフィルム貼付方法

発明者： 竹田 俊彦 ,  林 武彦
出願人/特許権者： 日立テクノエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336241
公開番号（公開出願番号）：特開2001-152098
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】フィルムの繰り出しを一時停止させ基板間処理を施しつつ基板を連続して搬送し基板とフィルムの連続貼り付けをする単位時間当りの基板処理枚数が多いフィルム貼付方法を提供することである。【解決手段】所望の間隔を維持して搬送路上を搬送される複数の基板と巻回したロールから繰り出し各基板の間隔に対応する部位に基板間処理を施したフィルムとを搬送路の途中に設けられた圧着ローラ間を通して各基板にフィルムの粘着面を貼り付けるフィルム貼付方法で、搬送路上を複数の基板を連続して搬送することに対してフィルムの繰り出しを間歇的に一時停止させて基板間処理を施し、基板間処理後には吸着領域が相対移動する吸着ローラの回転によりフィルム繰り出し量の貯蔵を行い、貯蔵されたフィルムと複数の基板とを圧着ローラ間に連続供給して基板とフィルムの連続貼り付ける。

請求項（抜粋）：

所望の間隔を維持して搬送路上を搬送される複数の基板と、巻回したロールから繰り出し各基板の間隔に対応する部位に基板間処理を施したフィルムとを、搬送路の途中に設けられた圧着ローラ間を通して各基板にフィルムの粘着面を貼り付ける、基板へのフィルム貼付方法において、搬送路上を複数の基板が連続して搬送される間にフィルムの繰り出しを間歇的に一時停止させて基板間処理を施し、該基板間処理後に、吸着領域が相対移動する吸着ローラの回転によりフィルム繰り出し量の貯蔵を行い、該貯蔵されたフィルムと複数の基板とを圧着ローラ間に連続供給して、基板とフィルムの連続貼り付けをすることを特徴とする基板へのフィルム貼付方法。

Fターム (9件)：

4J040JA09 ,  4J040JB09 ,  4J040MB03 ,  4J040MB05 ,  4J040PA23 ,  4J040PA25 ,  4J040PA33 ,  4J040PA35 ,  4J040PA44