特許
J-GLOBAL ID：200903056253367050
膜生成装置用の生成膜付着防止部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-337420
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175126
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】【目的】付着する金属微粒子の除去時にも金属製の生成膜付着防止部材が溶けないようにし、再利用に関する手間を最小限に抑制するとともに、半永久的に再利用できるようにすること。【構成】第1,第2の生成膜付着防止部材3,4の全表面に耐酸性の保護膜5をコーティングしている。保護膜5は、第1,第2の生成膜付着防止部材3,4の粗い面状態にならって面状態が粗くなるから、膜生成時に金属微粒子が保護膜5に付着しやすくなる。また、付着した金属微粒子を除去するときは、酸系の溶剤を用いても第1,第2の生成膜付着防止部材3,4が耐酸性の保護膜5で保護されているから、第1,第2の生成膜付着防止部材3,4が溶けずに済む。これにより、生成膜付着防止部材3,4の再利用が簡単に行えるようになる。
請求項（抜粋）：
半導体基板への膜生成装置に用いられるもので、前記膜生成装置の膜生成室内の備品に対して金属ターゲットから分離する金属微粒子を付着させないようにする生成膜付着防止部材であって、少なくとも金属ターゲットに対向する面が粗く形成されているとともに、この面に耐酸性の保護膜がコーティングされている、ことを特徴とする膜生成装置用の生成膜付着防止部材。
IPC (3件)：
H01L 21/203
, C23C 14/22
, C23F 4/00
