特許

J-GLOBAL ID：200903056255690982

位置決め装置、及び有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造装置

発明者： 大熊 勇 ,  大木 一弘
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 渡辺 敬介 ,  山口 芳広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-055308
公開番号（公開出願番号）：特開2006-241489
出願日： 2005年03月01日
公開日（公表日）： 2006年09月14日
要約：

【課題】 Z軸方向への移動機構の簡素化を実現しつつ、高精度かつ高い応答性を満たしており、真空中における高精度なXYθ方向の精密位置決め機能を備えると同時に、Z軸方向への移動により基板受け渡しを行なうことができる位置決め装置を提供する。【解決手段】 画素パターンの開口部を有する蒸着マスク7とガラス基板6とのXYθ方向の相対的な位置決め、及びZ軸方向の位置決めを行う位置決め装置であって、固定部3上に、Z軸方向に熱膨張及び熱収縮する弾性体継手2を介して、XYθステージ1を支持するとともに、弾性体継手2に加熱手段16を備えている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

XYθ方向及びZ軸方向の位置決めを行う位置決め装置において、固定部上に、Z軸方向に熱膨張及び熱収縮する弾性体継手を介して、XYθステージを支持することを特徴とする位置決め装置。

IPC (4件)：

C23C 14/50 ,  C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (4件)：

C23C14/50 F ,  C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BD00 ,  4K029CA01 ,  4K029HA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 2002-305081号公報