特許

J-GLOBAL ID：200903056257952658

荷電粒子線露光装置

発明者： 秦 一成 ,  青砥 和明
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-131241
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323084
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】周辺の磁場が大きく変動する場合には、露光動作を停止して、変形したパターンが試料に露光されない荷電粒子線露光装置を提供する。【解決手段】荷電粒子線を発生する光源手段22と、これが発生する荷電粒子線を原稿Rに偏向する照明偏向手段23と、原稿を保持する原稿保持手段24と、原稿からの荷電粒子線を試料Wに偏向する投影偏向手段25と、試料を保持する試料保持手段26とを備える露光手段1と露光手段の近傍の磁界強度を検出する磁気検出手段d1a〜d5aとその出力が基準値より大きくなる場合に、緊急停止信号を出力する緊急停止手段3と、緊急停止信号を入力すると、露光手段の動作を緊急に停止する中央制御手段4とを備える。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を発生する光源手段と、前記光源手段が発生する荷電粒子線を原稿に偏向する照明偏向手段と、前記原稿を保持する原稿保持手段と、前記原稿からの荷電粒子線を試料に偏向する投影偏向手段と、前記試料を保持する試料保持手段とを備える露光手段と前記露光手段の近傍の磁界強度を検出する磁気検出手段と前記磁気検出手段の出力が、基準値より大きくなる場合に、緊急停止信号を出力する緊急停止手段と、前記緊急停止信号を入力すると、前記露光手段の動作を緊急に停止する中央制御手段とを備える事を特徴とする荷電粒子線露光装置。

IPC (5件)：

H01J 37/305 ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 5/00 ,  H01J 37/24 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

H01J 37/305 B ,  G03F 7/20 504 ,  G21K 5/00 S ,  H01J 37/24 ,  H01L 21/30 541 C

Fターム (13件)：

2H097BA03 ,  2H097BB03 ,  2H097CA16 ,  2H097GB01 ,  5C034BB07 ,  5C034BB10 ,  5F056AA21 ,  5F056AA27 ,  5F056BA09 ,  5F056BB02 ,  5F056BC01 ,  5F056BC08 ,  5F056CB13