特許
J-GLOBAL ID：200903056258595689
電子顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
小川 勝男
, 田中 恭助
, 佐々木 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200883
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047196
出願日： 2002年07月10日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】透過型電子顕微鏡のシンチレータ、及び蛍光板の蛍光膜を構成する蛍光体の発光効率、輝度飽和低減、寿命の各特性を向上させ、高性能の電子顕微鏡及び画像観察装置を得る。【解決手段】蛍光膜が形成されたシンチレータ11、及び蛍光板9と前記蛍光膜に透過電子線を照射して像観察を行う手段とを備えた透過型電子顕微鏡であって、前記蛍光膜を、一般式が(Y1-x,Gdx)3(Al,Ga)5O12:Re、(Y1-x,Gdx)2O3:Eu、(Y1-x,Gdx)BO3:Euで表される、ただし、ReはTb及びCeの少なくとも一種の元素であり、そして、式中のxは0≦x≦1である蛍光体を用いることにより、発光効率、輝度飽和低減、寿命特性の改善を実現する電子顕微鏡及び画像観察装置ができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
蛍光膜が形成されたシンチレータと前記蛍光膜に透過電子線を照射して像観察を行う手段とを備えた透過型電子顕微鏡であって、前記蛍光膜を、一般式が(Y1-x,Gdx)3(Al,Ga)5O12:Reで表される、ただし、ReはTb及びCeの少なくとも一種の元素であり、式中のxは0≦x≦1である蛍光体で構成したことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
4H001CA08
, 4H001XA05
, 4H001XA08
, 4H001XA13
, 4H001XA31
, 4H001XA39
, 4H001XA64
, 4H001YA58
, 4H001YA63
, 4H001YA65
, 5C033NN03
, 5C033NP02
, 5C033SS04
