特許
J-GLOBAL ID：200903056260648323
テストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176251
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009792
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 本発明の課題は、恒温槽内に実装した診断ボードによって測定された電流値を基準として、テストバーンイン装置側の電流測定回路から得られた結果を適宜補正するための補正値を算出し、テストバーンイン装置の電流測定値を自動的に調整するテストバーンインシステム、及びテストバーンインシステム校正方法を提供することである。【解決手段】 電流測定回路6は、抵抗Rの両端電圧値に基づくデジタルデータをCPU8に対して出力し、電流測定回路4は、電流値切り換え回路3の両端の電圧値に基づくデジタルデータをCPU8に対して出力する。そして、CPU8は、電流測定回路6を補正するためのゲイン補正値及びオフセット補正値を算出して調整回路7に転送し、調整回路7は、当該補正値をメモリに格納した後、D/A変換して電流測定回路6内のA/DコンバータADCに対して出力してA/DコンバータADCから出力されるデジタルデータの値を補正する。
請求項（抜粋）：
所定の温度条件に従う環境を生成する恒温槽と、この恒温槽内に装着されたテストバーンインボードに実装される被測定デバイスに対して試験信号を印可して被測定デバイスの良否を判定するテストバーンイン装置とによって構成されるテストバーンインシステムにおいて、前記恒温槽は、前記テストバーンイン装置から供給される電源の電流値を測定する第1の電流測定手段を備える診断ボードを装着し、前記テストバーンイン装置は、当該テストバーンイン装置に所定電圧の電源を供給する電源装置と、この電源装置から当該テストバーンイン装置に供給される電源の電流値を測定する第2の電流測定手段と、前記第1の電流測定手段によって測定される電流値を基準値として、前記第2の電流測定手段によって測定される電流値を補正するための補正信号を生成する補正信号生成手段と、この補正信号生成手段によって生成される補正信号に基づいて、前記第2の電源電流測定手段によって測定される電流値を調整する調整手段と、によって構成されることを特徴とするテストバーンインシステム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/26 H
, H01L 21/66 H
2G003AC01
, 2G003AD02
, 4M106AC13
, 4M106BA14
, 4M106CA04
, 4M106CA27
, 4M106DH46
, 4M106DJ19
, 4M106DJ20
, 4M106DJ21
, 4M106DJ39
