特許
J-GLOBAL ID：200903056262730019
減圧洗浄方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-348088
公開番号（公開出願番号）：特開平7-185484
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：
【要約】【目的】 減圧洗浄に際して減圧する時に、槽に接続されている減圧排気側への洗剤の廻り込みを防止して、減圧洗浄の洗浄性能を一定に高く保つこと。【構成】 減圧洗浄槽内に洗浄対象物品と洗浄液とを入れ、減圧および増圧によって前記物品を洗浄する減圧洗浄方法である。減圧洗浄を行う前に本洗浄真空度より低い真空度で予備減圧を行った後、前記減圧および増圧によって前記物品を洗浄する。各減圧時に超音波を減圧洗浄槽内に照射して洗浄液気泡の成長を抑制させつつ洗浄をなし、その後に槽内洗浄液を抜き取った後、減圧による脱液中に超音波を照射する。泡の成長抑制のための超音波は、減圧洗浄槽には洗浄用の前記超音波発振子に加えてこれより高位に取付けた泡消し用超音波発振子によって行うようにすればよい。これらの一連の作業はコントローラにによって槽内減圧値が設定値に達したときに前記泡消し用超音波発振子を作動可能とする。
請求項（抜粋）：
減圧洗浄槽内に洗浄対象物品と洗浄液とを入れ、減圧および増圧によって前記物品を洗浄する減圧洗浄方法において、減圧中に超音波を減圧洗浄槽内に照射して洗浄液気泡の成長を抑制しつつ洗浄させることを特徴とする減圧洗浄方法。
引用特許：
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