特許
J-GLOBAL ID:200903056277942470

薄板挿入取出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 哲也 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-199788
公開番号(公開出願番号):特開平5-021580
出願日: 1991年07月16日
公開日(公表日): 1993年01月29日
要約:
【要約】【目的】薄板挿入取出装置において、取出しフィンガ高さ位置と薄板位置検出器の間の相対位置を自動的に測定し、両者間の正確な相対位置調整を不要にする。【構成】薄板収納箱に対して薄板を挿入取出するフィンガと、該薄板収納箱とフィンガとを相対的に昇降させる手段と、前記フィンガとの相対高さが一定の位置に配置され前記薄板収納箱内の薄板の高さ位置を検出する手段と、前記フィンガと薄板位置検出手段による薄板検出位置との相対高さを検出する手段と、検出された相対高さに基づいて薄板挿入取出時の前記昇降手段による昇降量を補正する手段とを具備する。
請求項(抜粋):
薄板収納箱に対して薄板を挿入取出するフィンガと、該薄板収納箱とフィンガとを相対的に昇降させる手段と、前記フィンガとの相対高さが一定の位置に配置され前記薄板収納箱内の薄板の高さ位置を検出する手段と、前記フィンガと薄板位置検出手段による薄板検出位置との相対高さを検出する手段と、検出された相対高さに基づいて薄板挿入取出時の前記昇降手段による昇降量を補正する手段とを具備することを特徴とする薄板挿入取出装置。
IPC (2件):
H01L 21/68 ,  H01L 21/027

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