特許

J-GLOBAL ID：200903056283746560

静電アクチュエータおよびその駆動方法

発明者： 松崎 一成 ,  御厨 美和 ,  八木 晃治 ,  松尾 智弘
出願人/特許権者： 株式会社安川電機
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-234267
公開番号（公開出願番号）：特開平7-067362
出願日： 1993年08月25日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】【目的】簡素な構造で摩擦が小さく、推力の大きい、かつ高精度の位置決めが可能な静電アクチュエータを得る。【構成】絶縁物からなる基体の表面部に複数の駆動電極を所定のピッチで配置させた固定子(1) と、固定子と微少空隙を介して対向させて、固定子の電極のピッチと所定の関係を持つピッチで配列された電極を設けた可動子(2) とを備えた静電アクチュエータにおいて、固定子は基体表面に設けた第1電極(12)とその上に絶縁体または強誘電体を介して重なるように設けた略同形状の第2電極(14)からなり、可動子は基体表面に設けた第1電極(22)とその上に絶縁体または強誘電体を介して重なるように設けた略同形状の第2電極(24)からなる構成にし、固定子の第1電極と可動子の第1電極に同極性の電圧を加え、固定子の第2電極および可動子の第2電極には第1電極に印加した極性とは異なる極性の電圧を順次加えるようにしている。

請求項（抜粋）：

絶縁物からなる基体の表面部に複数の駆動電極を所定のピッチで配置させた固定子と、前記固定子と微少空隙を介して対向させて、前記固定子の電極のピッチと所定の関係を持つピッチで配列された電極を設けた可動子とを備えた静電アクチュエータにおいて、前記固定子は基体表面に設けた第1電極と前記第1電極の上に絶縁体または強誘電体を介してその直上に重なるように設けた前記第1電極と略同形状の第2電極からなり、前記可動子は基体表面に設けた第1電極と前記第1電極の上に絶縁体または強誘電体を介してその直上に重なるように設けた前記第1電極と略同形状の第2電極からなることを特徴とする静電アクチュエータ。