特許

J-GLOBAL ID：200903056284040490

縮小投影レンズ

発明者： 中桐邦恵
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 韮澤 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128590
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 色収差の補正が可能であり、かつ、レンズ系の硝材総肉厚を薄くして透過率を向上させることができる高解像の縮小投影レンズ。【構成】 ArFエキシマレーザ、KrFエキシマレーザ等の300nm以下の中心波長を有し、波長スペクトル半値幅が±0.5pm〜±200pmのスペクトル光源を対象とした屈折光学素子と回折光学素子を含む縮小投影レンズであって、屈折光学素子は少なくとも1面の非球面を含み、屈折光学素子及び回折光学素子がSiO<SB>2 </SB>等の全ての同一の硝材よりなり、レンズ系の瞳から回折光学素子までの距離をd、物像間距離をD、回折光学素子における最軸外主光線高をh、回折光学素子の有効半径をHとしたとき、0.02<|d/D|<0.17,0.01<|h/H|<0.25の条件を満足する。

請求項（抜粋）：

300nm以下に中心波長を有するスペクトル光源を対象とした屈折光学素子と回折光学素子を含む縮小投影レンズであって、屈折光学素子は少なくとも1面の非球面を含むことを特徴とする縮小投影レンズ。

IPC (4件)：

G02B 13/18 ,  G03F 7/20 505 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-001109
  
• 特開平4-214516
  
• 特開平2-001109
  
• 特開平4-214516