特許
J-GLOBAL ID：200903056284556535
めっき装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阿部 美次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-336573
公開番号（公開出願番号）：特開平6-158392
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】 めっき液に対する流動障害が少なく、均一なめっき膜厚及びめっき膜組成が得られる噴流型のめっき装置を提供することである。【構成】 めっき槽1はめっき液11が噴流として供給される。カソード電極装置3はめっき液11の噴流内に位置するようにめっき槽1に取り付けられている。アノード電極装置2はアノード電極板21が中心部付近に中心孔23を有すると共に、中心孔23の周りに多数の小孔24を有し、中心孔23及び小孔24がめっき液11の流通路を構成し、カソード電極装置2と対向するように、めっき槽1内に配置されている。
請求項（抜粋）：
めっき槽と、カソード電極装置と、アノード電極装置とを含むめっき装置であって、前記めっき槽は、めっき液が噴流として供給されるものであり、前記カソード電極装置は、前記めっき液の噴流内に位置するように前記めっき槽に取り付けられており、前記アノード電極装置は、アノード電極板を含み、前記アノード電極板が中心部付近に中心孔を有すると共に、前記中心孔の周りに多数の小孔を有し、前記中心孔及び前記小孔が前記めっき液の流通路を構成し、前記カソード電極装置と対向するように、前記めっき槽内に配置されているめっき装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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