特許
J-GLOBAL ID：200903056285393796
マーク検出方法および電子ビーム描画装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-185289
公開番号（公開出願番号）：特開平9-035057
出願日： 1995年07月21日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】精度の良いマーク検出方法およびそれを用いた電子ビーム描画装置を提供する。【解決手段】マーク検出で使用するビームの情報を検出に用いるテンプレートまたは検出信号に反映させる。このため、検出に用いるビームの形状及び強度分布を測定しておき、これらの情報を反映したフィルタを作成し、これを検出に用いる。
請求項（抜粋）：
電子ビームをマーク上に走査することによって得られるマーク信号を用いてマーク位置を検出する電子ビーム描画装置のマーク検出方法において、予め検出に用いる電子ビームの情報を取得しておき、前記ビーム情報をマーク検出に用いることを特徴とするマーク検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06F 15/68 400 A
, G06F 15/62 405 C
