容量式圧力センサ

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-285234
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108547
出願日： 1999年10月06日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】固定電極の設けられた基材と可動電極の設けられた基材とを接合する際に、はみ出した電極によって接合不良が生じることを防ぐ。また、溶融はんだを使った引き出し電極の作製時に、この溶融はんだが容量室内に流れ込むのを防止する。【解決手段】第1および第2の基材(下側ウエハ2および上側ウエハ3)は、第2および第4の凹部(パッド形成部2bおよび3b)が対向する基材の凹部と重なり合わないように、かつ、固定電極5と可動電極7とが対向するようにして接合されている。

請求項（抜粋）：

第1の凹部とこの第1の凹部に連通した第2の凹部とを有する第1の基材と、底部が受圧ダイアフラムを構成した第3の凹部とこの第3の凹部に連通した第4の凹部とを有する第2の基材と、前記第1の凹部に設けられた固定電極と、前記第2の凹部に設けられかつ前記固定電極に第1の配線で接続された第1のパッドと、前記第3の凹部に設けられた可動電極と、前記第4の凹部に設けられかつ前記可動電極に第2の配線で接続された第2のパッドと、前記第1のパッドに接続されかつ前記第1の基材に設けられた貫通孔を介して外部に引き出された第1の引き出し電極と、前記第2のパッドに接続されかつ前記第1の基材に設けられた貫通孔を介して外部に引き出された第2の引き出し電極とを備え、前記第1および第2の基材は、前記第2および第4の凹部が対向する基材の凹部と重なり合わないように、かつ、前記固定電極と前記可動電極とが対向するようにして接合されていることを特徴とする容量式圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/12 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/12 , H01L 29/84 B

Fターム (17件)：

2F055AA40 , 2F055BB20 , 2F055CC02 , 2F055DD05 , 2F055DD07 , 2F055DD09 , 2F055EE25 , 2F055FF43 , 2F055FF49 , 2F055GG12 , 2F055GG49 , 4M112AA01 , 4M112BA07 , 4M112CA02 , 4M112CA11 , 4M112CA13 , 4M112DA18

引用特許：

審査官引用 (6件)

半導体式センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-082111 出願人：オムロン株式会社
圧力変換器とその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-067223 出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
特表平3-504161

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