特許

J-GLOBAL ID：200903056294699199

プローブ装置

発明者： 阿部 祐一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-355868
公開番号（公開出願番号）：特開平5-175290
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：

【要約】【目的】 プローブ装置を設置するにあたり省スペース化を図ること。【構成】 プローブ装置本体1の上面にテストヘッド3を着脱自在に載置すると共に、プローブ装置本体1とは別個に、床面を移動自在なテストヘッド保持手段4を装置本体1の多数台に対して1台の割合で設置する。この保持手段4は、昇降自在でかつX、Y、Z軸のまわりに回動できる一対の開閉自在なアーム41、42を備え、テストヘッド3をプローブ装置本体1から持ち上げる役割をもっている。また筐体10内のプローブカードは、取り付けリングに保持されて、ガイドレール74、75に沿って窓76を介して装置本体1の外部に引き出すことができるようになっており、テストヘッド3を装置本体1に装着したままプローブカードの着脱を行うことができる。

請求項（抜粋）：

一面側にプローブ針を備えたプローブカードをプローブ装置本体に装着し、プローブ針と被検査体の電極パッドとを接触させると共にプローブカードの他面側にテストヘッドを電気的に接触させて被検査体の電気的測定を行うプローブ装置において、前記テストヘッドを保持してプローブ装置本体に対して着脱するためのテストヘッド保持手段を、プローブ装置本体及びテストヘッドに対して独立して移動自在に設けたことを特徴とするプローブ装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭63-085374
  
• 特開平2-205335
  
• テストヘツド着脱装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192598   出願人：三菱電機株式会社