特許
J-GLOBAL ID:200903056295827310

加速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-102974
公開番号(公開出願番号):特開平6-308151
出願日: 1993年04月28日
公開日(公表日): 1994年11月04日
要約:
【要約】【目的】 過大な加速度作用時にもセンサチップの薄肉部の破損を防止できると共に、組付性が向上し低コストになる加速度センサを得る。【構成】 加速度センサ10では、ボディー12とHIC基板16との間に位置してセンサチップ20が取り付けられており、HIC基板16がセンサチップ20のカンチレバー部22のストッパーとして機能すると共に、リード端子26が衝撃緩衝部として機能する。したがって、検出領域を越える過大な加速度が作用した場合であっても、センサチップ20の薄肉部24の破損を防止できるのみならず、従来では不可欠であった特別なストッパーや内部に封入されたダンピングオイル等が不要となり、組付性が向上すると共に低コストになる。
請求項(抜粋):
部分的に薄肉部が形成されたセンサチップがボディーに固定された基板上に設けられると共に、前記センサチップに接続されたリード端子が前記ボディーに対し前記基板と反対方向へ突出する状態で取り付けられてパッケージされた垂直実装タイプとされ、前記薄肉部の撓みによって加速度を検出する加速度センサにおいて、前記センサチップを、前記ボディーと前記基板との間に位置して取り付け、前記基板を、前記ボディーと反対側からの過大加速度作用時における前記センサチップのストッパーとすると共に、前記リード端子を、前記ボディーの側からの過大加速度作用時における前記センサチップの衝撃緩衝部としたことを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件):
G01P 15/12 ,  H01L 29/84

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