特許

J-GLOBAL ID：200903056322187930

等方性黒鉛材の製造方法

発明者： 池上 栄 ,  木下 徹也
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 高畑 正也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-342337
公開番号（公開出願番号）：特開平7-165467
出願日： 1993年12月14日
公開日（公表日）： 1995年06月27日
要約：

【要約】【目的】 シリコン単結晶引上げ用ルツボとして好適な、低熱膨張係数と優れた気体不透過性を兼備する等方性黒鉛材の製造方法を提供する。【構成】 平均粒径15μm 以下の針状コークス微粉末50〜95重量部と平均粒径30μm 以下の天然黒鉛微粉末50〜5重量%を配合してフィラー原料とし、このフィラー原料をピッチ系バインダーとともに捏合処理したのち混練物を微粉砕し、粉砕微粉を静水圧プレス(CIP) により成形して焼成炭化および黒鉛化処理する。室温から1000°Cにおける平均熱膨張係数が 2.3〜3.8 ×10-6/°Cで、かつ気体透過度が 0.5〜15×10-2cm2/sec の等方性黒鉛材を製造する。

請求項（抜粋）：

平均粒径15μm 以下の針状コークス微粉末50〜95重量%と平均粒径30μm 以下の天然黒鉛微粉末50〜5重量%を配合してフィラー原料とし、該フィラー原料をピッチ系バインダーとともに捏合処理したのち混練物を微粉砕し、粉砕微粉を静水圧プレス(CIP) により成形して焼成炭化および黒鉛化処理することを特徴とする等方性黒鉛材の製造方法。