特許

J-GLOBAL ID：200903056327653904

ガス測定装置

発明者： 松野 玄 ,  篠崎 博人
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-051694
公開番号（公開出願番号）：特開平9-243537
出願日： 1996年03月08日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 構成が簡単で湿度ドリフトによる測定誤差のないガス測定装置を実現する。【解決手段】 被測定ガスの濃度を測定するガス測定装置において、被測定成分及び妨害成分を含まない乾燥ガスを加湿する加湿器と、センサセルと、センサセル内に設置されセンサセル内のガスの湿度を測定する湿度センサと、センサセル内に設置されセンサセル内のガスの濃度を測定するガスセンサと、乾燥ガス、加湿器の出力ガス及び被測定ガスを混合すると共に湿度センサの出力に基づき混合ガスの湿度を調整してセンサセルに供給する湿度調整手段とを設ける。

請求項（抜粋）：

被測定ガスの濃度を測定するガス測定装置において、被測定成分及び妨害成分を含まない乾燥ガスを加湿する加湿器と、センサセルと、前記センサセル内に設置され前記センサセル内のガスの湿度を測定する湿度センサと、前記センサセル内に設置され前記センサセル内のガスの濃度を測定するガスセンサと、前記乾燥ガス、前記加湿器の出力ガス及び前記被測定ガスを混合すると共に前記湿度センサの出力に基づき混合ガスの湿度を調整して前記センサセルに供給する湿度調整手段とを備えたことを特徴とするガス測定装置。

IPC (3件)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 31/22 121

FI (3件)：

G01N 1/28 L ,  G01N 1/00 101 R ,  G01N 31/22 121 B