固体試料の分析方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：龍華明裕
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-516157
公開番号（公開出願番号）：特表2008-544231
出願日： 2006年05月19日
公開日（公表日）： 2008年12月04日
要約：

本発明は、固体試料を分析する方法に関する。この種類の方法は、特に、固体表面内又は上の材料組成及び分布の分析に使用される。本発明の方法では、分析される表面は、少なくとも部分的に及び/又は複数の領域においてセシウムで被覆される。また、表面は、1イオンあたり少なくとも3原子を有する多原子イオンを主に又は排他的に含む分析ビームにより照射される。生成される二次イオンは、セシウム化合物で分析される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

2ビーム法での二次イオン質量分析法により一の固体試料を分析する方法であって、分析されるべき前記試料の表面は、一の分析ビームにより照射され、前記表面は、少なくとも部分的に及び/又は複数の領域においてセシウムにより被覆され、前記表面は、1イオンあたり少なくとも3原子を有する複数の多原子イオンを主に又は排他的に含む一の分析ビームにより照射され、生成される複数の二次イオンは、複数のセシウム化合物で分析される方法。

IPC (2件)：

G01N 27/64 , G01N 27/62

FI (6件)：

G01N27/64 Z , G01N27/62 G , G01N27/62 K , G01N27/62 H , G01N27/62 L , G01N27/62 Y

Fターム (10件)：

2G041CA01 , 2G041DA16 , 2G041DA20 , 2G041EA01 , 2G041FA16 , 2G041GA02 , 2G041GA03 , 2G041GA06 , 2G041JA20 , 2G041LA08

引用特許：

審査官引用 (2件)

深さ方向元素分布測定方法及び深さ方向元素分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-087240 出願人：富士通株式会社
特許第2386747号

引用文献：

審査官引用 (2件)

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