特許

J-GLOBAL ID：200903056334656579

表面電位読み取り装置

発明者： 青野 隆 ,  鶴岡美秋
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-310853
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159465
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 広範囲の走査が可能であり、かつμmオーダの空間分解能で電位読み取りを行うことを可能にする。【構成】 電位検出用プローブと記録媒体との相対的位置関係を3次元的に変える走査手段と、電位検出用プローブを所定周波数で励振する励振手段と、プローブの周期的変位を検知する検知手段と、プローブと記録媒体間にバイアス電圧及びオフセット電圧を印加するとともに、プローブの変位を一定に保つようにバイアス電圧を制御するバイアス電圧制御手段とを備え、前記走査手段により静電気力による相互作用が生じる距離までプローブと記録媒体とを接近させ、記録媒体あるいはプローブを2次元的に走査してプローブの変位を検知することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電位検出用プローブと記録媒体との相対的位置関係を3次元的に変える走査手段と、電位検出用プローブを所定周波数で励振する励振手段と、プローブの周期的変位を検知する検知手段と、プローブと記録媒体間にバイアス電圧及びオフセット電圧を印加するとともに、プローブの変位を一定に保つようにバイアス電圧を制御するバイアス電圧制御手段とを備え、前記走査手段により静電気力による相互作用が生じる距離までプローブと記録媒体とを接近させ、記録媒体あるいはプローブを2次元的に走査してプローブの変位を検知することを特徴とする表面電位読み取り装置。