特許
J-GLOBAL ID：200903056340550162
ホルダ駆動装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-254634
公開番号（公開出願番号）：特開平9-073873
出願日： 1995年09月05日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 定速度回転でしかも容量の小さなモータで、揺動アームに取り付けられたホルダを、そのY方向の速度成分が一定になるように機械的に走査することができるホルダ駆動装置を提供する。【解決手段】 このホルダ駆動装置30は、駆動モータの回転をボールねじ38およびボールナット40によってスライダー44の直線運動に変換し、それを連結機構50によって駆動アーム36の揺動回転に変換し、この揺動回転によって駆動アーム36と同一のアーム軸32に取り付けられた揺動アーム12を揺動回転させる構成である。揺動アーム12の先端部付近には、ウェーハ6保持用のホルダ8が取り付けられている。
請求項（抜粋）：
真空容器内において、揺動アームを所定角度範囲内で往復旋回させて、当該揺動アームの一端部付近に取り付けられたウェーハ保持用のホルダを、そのY方向の速度成分が一定になるように機械的に往復走査するホルダ駆動装置において、前記真空容器を貫通していて前記揺動アームの他端部付近にほぼ直交するように取り付けられたアーム軸と、このアーム軸が真空容器を貫通する部分を真空シールする真空シール軸受と、前記真空容器外において前記アーム軸にほぼ直交するように取り付けられた駆動アームと、前記真空容器外にあって前記駆動アームとの間の角度が、その時の前記揺動アームと前記Y方向との間の角度と同一になるように配置されたボールねじと、このボールねじに接続されていてそれを一定速度で回転させる可逆転式の駆動モータと、前記ボールねじと螺合するボールナットと、このボールナットに接続されていて前記ボールねじに平行に往復直線運動可能なスライダーと、このスライダーと前記駆動アームの先端部付近とを連結していて、スライダーの往復直線運動を駆動アームの往復旋回運動に変換する連結機構とを備えることを特徴とするホルダ駆動装置。
IPC (6件)：
H01J 37/317
, B25J 9/06
, C23C 14/48
, C23C 14/50
, H01L 21/265
, H01L 21/68
H01J 37/317 B
, B25J 9/06 D
, C23C 14/48 Z
, C23C 14/50 K
, H01L 21/68 A
, H01L 21/265 D
