特許

J-GLOBAL ID：200903056347771920

X線検査装置

発明者： 藤井 正司 ,  吉田 雅也
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-030841
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220025
出願日： 1995年02月20日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】 X線ラインセンサ(1次元型X線検出手段)の感度スペクトルに起因する画質の低下をなくす。【構成】 X線発生手段1と1次元型X線検出手段3との間に検査対象物Wを配してこれを相対移動させて2次元走査し、X線検出手段3の出力を処理して検査対象物の透視画像を得るX線検査装置において、検査対象物Wに代えてその透過スペクトルに対応した特性のX線フィルタ11をX線発生手段1とX線検出手段3との間に配した状態でX線検出手段3の出力を採取し、X線検出手段3の感度スペクトル補正用の補正データを作成するデータ作成手段51と、実検査時にX線検出手段3の出力から得られた検査対象物の透過データを前記補正データに基づいて補正演算する補正演算手段58とを備える。

請求項（抜粋）：

X線発生手段とX線検出手段との間で検査対象物を相対移動させて、前記X線検出手段の出力を処理して検査対象物の透視画像を得るX線検査装置において、前記X線発生手段と前記X線検出手段との間に設けられ、前記検査対象物の透過スペクトルに対応した特性のX線フィルタを有し、前記X線検出手段の出力を採取し、前記X線検出手段の感度スペクトルを補正する補正データを作成するデータ作成手段と、実検査時に前記X線検出手段の出力から得られた前記検査対象物の透過データを前記補正データに基づいて補正演算する補正演算手段とを備えたことを特徴とするX線検査装置。