特許
J-GLOBAL ID：200903056351135159
誤差電流検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100967
公開番号（公開出願番号）：特開平7-312197
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【構成】 例えばひとつのイオン注入対象物へのイオン注入が終了したときのような、イオンビームを照射しないときに、リレー4が図中B側に切り換えられる。そして、ファラデーカップ2で発生した漏れ電流のような誤差電流がファラデーカップ2からメーターリレー5に入力され、メーターリレー5において、所定の設定値よりも大きな誤差電流が検出された場合、異常検出信号が出力される。【効果】 イオン注入時のビーム電流計測のレンジに左右されず、常に、一定の設定値との比較が可能になる。それによって、大きなレンジの場合でも、小さな誤差電流をも検出することができ、誤差電流を精密に検出することができる。そのため、ビーム電流が正確に測定できるので、正確なイオン注入量の測定ができる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを収集するビーム収集部と、上記ビーム収集部に入射する荷電粒子ビームのビーム電流を測定する測定部とを備えたビーム電流測定系に設けられるものであり、上記ビーム収集部で発生する測定誤差となる誤差電流を検出する誤差電流検出装置において、上記ビーム収集部からの電流の出力先を、ビーム電流を測定する側と誤差電流を検出する側との間で切り換える切り換え手段と、荷電粒子ビームがビーム収集部に照射されないときに、上記ビーム収集部で発生する電流を、予め電流の絶対的な値として設定された設定値と比較し、上記設定値よりも大きな電流が検出された場合、異常検出信号を出力する誤差電流検出手段とを備えたことを特徴とする誤差電流検出装置。
IPC (4件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01J 37/244
, H01L 21/265
