蒸着源及び蒸着装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-355543
公開番号（公開出願番号）：特開平11-246964
出願日： 1998年12月15日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：

【要約】【課題】同軸型真空アーク蒸着源を用いて形成する薄膜の品質を向上させる。【解決手段】同軸型真空アーク蒸着源5のアノード電極13内で露出する蒸着材料14の先端に、絶縁性物質で構成された遮蔽物15を設け、蒸着材料14先端表面22が露出しないようにする。蒸着材料14の先端表面22では蒸発が生じないため、基板19には、側面21から放出され、磁場で飛行方向を曲げられた荷電微粒子31だけが到達するので、基板19表面に形成される薄膜の膜質が向上する。また、本発明の別の蒸着源55では、アノード電極63の内壁には、凸部90が設けられているので、荷電微粒子96以外の中性粒子95や巨大粒子97が飛散してアノード電極63の内壁に衝突しても、凸部90に付着するので、蒸着源55から外部へは放出されずに、基板69表面に形成される薄膜の膜質が向上する。

請求項（抜粋）：

カソード電極と、前記カソード電極の先端に取り付けられた蒸着材料と、前記蒸着材料と密着して設けられた絶縁部材と、前記絶縁部材に密着配置されたトリガ電極と、前記蒸着材料近傍に配置されたアノード電極とを有し、前記アノード電極と前記カソード電極との間に電圧を印加した状態で、前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が放出されるように構成された蒸着源であって、前記蒸着材料の先端部分には、絶縁性物質で構成された遮蔽物が設けられていることを特徴とする蒸着源。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , G02F 1/13 101 , H01L 21/285

FI (4件)：

C23C 14/24 E , C23C 14/24 F , G02F 1/13 101 , H01L 21/285 S

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