特許
J-GLOBAL ID：200903056353407580
カンチレバーおよびこのカンチレバーを用いた微細加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
武 顕次郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-101393
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307851
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 試料とチップ間に作用力が生じても、試料に対しチップ角を所定角度に保持できるカンチレバーおよびそのカンチレバーを用いた微細加工装置の提供。【構成】 ベース平板8aと一体的に設けられる上側レバー2と、ベース平板8bと一体的に設けられ中央部近傍に空洞部12を有する下側レバー1と、これら2個のレバーを平行に設置することにより形成されるレバー本体14と、このレバー本体14の先端部近傍に支柱4を介して支持される尖鋭なチップ3とから構成され、試料とチップ3との間に作用力が生じた場合、下側レバー1の空洞部12a,12b部を支点として両レバー1,2がそれぞれ平行に2箇所で同一量だけ撓み、これにより試料とチップ間に作用力が生じても、試料に対するチップの角度を所定角に保つことができる。この角度保持機能を利用し、チップ3により試料に対する加工を行うこともできる。
請求項（抜粋）：
レバー本体と、このレバー本体の先端近傍に設けられたチップとを備え、前記チップが試料に接近したときに両者の間に生じる作用力によって変位するカンチレバーにおいて、前記レバー本体は平行に設けられた複数枚の平板からなる平行平板構造であることを特徴とするカンチレバー。
IPC (2件)：
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