特許

J-GLOBAL ID：200903056363738371

反射防止膜、及びその製造方法

発明者： 坂田 肇
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 加藤 一男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-336796
公開番号（公開出願番号）：特開2002-139601
出願日： 2000年11月06日
公開日（公表日）： 2002年05月17日
要約：

【要約】【課題】光学部品ないし光学素子の表面への反射防止膜として、波長依存性および入出射角依存性が低く、反射防止効果および増透効果の大きな膜を、量産性の高い方法で得ることである。【解決手段】反射防止膜11は、光学部品ないし光学素子12の表面に形成された物質と空隙の錯綜した非周期的な海綿状微細構造を有し、非周期的海綿状微細構造が金属化合物を含むプラズマ加工残渣物から形成されている。

請求項（抜粋）：

光学部品ないし光学素子の表面に形成された物質と空隙の錯綜した非周期的な海綿状微細構造を有し、該非周期的海綿状微細構造が金属化合物を含むプラズマ加工残渣物から形成されていることを特徴とする反射防止膜。

IPC (7件)：

G02B 1/10 ,  B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 ,  C08J 7/04 CEY ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C08L 33:20

FI (7件)：

B32B 7/02 103 ,  B32B 9/00 A ,  C08J 7/04 CEY Z ,  C23C 14/12 ,  C23C 14/24 N ,  C08L 33:20 ,  G02B 1/10 Z

Fターム (42件)：

2K009AA12 ,  2K009CC02 ,  2K009CC03 ,  2K009CC06 ,  2K009CC09 ,  2K009DD02 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD12 ,  4F006AA22 ,  4F006AB73 ,  4F006AB74 ,  4F006BA14 ,  4F006CA05 ,  4F006DA01 ,  4F100AA05B ,  4F100AA08B ,  4F100AA12B ,  4F100AA17B ,  4F100AD00A ,  4F100AG00A ,  4F100AK01A ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100BA42B ,  4F100DJ00B ,  4F100EH46B ,  4F100EH66B ,  4F100EJ15B ,  4F100EJ582 ,  4F100EJ61B ,  4F100GB41 ,  4F100JN06 ,  4F100JN18B ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029BD09 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029GA02