特許
J-GLOBAL ID：200903056366890344
異なる屈折率の材質からなる適合された複数の要素を用いた広帯域光学縮小系
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 孝吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-017208
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281469
出願日： 1993年02月04日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】360〜372nmの範囲内の波長で使う、色補正され殆ど歪みのない光学縮小系を与える。【構成】いずれも2つの異なる材質、石英ガラスとクラウンガラス、から成る第1、第2および第4のレンズ群LG1,LG2およびLG4と、第3のレンズLG3、非球面の縮小ミラー30、フォールディングミラー18、ビームスピリッタ24、4分の1波長板26とから成り、360〜372nmの範囲内の波長、即ちI線の帯域幅、で殆ど歪みのない状態で色補正されたレチクル10の光学縮小パターンをウエハー42上に投影する。
請求項（抜粋）：
少なくとも二つの異なる材質からなる屈折要素を含む第1のレンズ群と、少なくとも二つの異なる材質からなる屈折要素を含む第2のレンズ群と、ビームスプリッタと、第3のレンズ群と、縮小ミラーと、少なくとも二つの異なる材質からなる屈折要素を含む第4のレンズ群とからなり、この系に入射する輻射光は、前記第1のレンズ群、前記第2のレンズ群、前記ビームスプリッタ、前記第3のレンズ群を通過し、前記ミラーによって反射され前記第3のレンズ、前記ビームスプリッタ、及び前記第4のレンズ群を通過するよう戻されるというように構成されていることを特徴とする、長い共役端から短い共役端までの反射屈折光学縮小系。
IPC (3件)：
G02B 13/24
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
H01L 21/30 311 L
, H01L 21/30 311 S
