特許
J-GLOBAL ID：200903056391897140
ダイシングチャックテーブルの異物除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-093188
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291400
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：
【要約】【目的】 異物除去部材をダイシングチャックテーブルの表面に摺接移動させてテーブル表面に付着する異物を擦り取るようにすることで、ダイシングチャックテーブル上の異物を除去できるようにする。【構成】 ダイシングテープを介してウェハを固定するためのダイシングチャックテーブル2の表面に摺接可能で硬質な材料を用いて作られるバー状の異物除去部材8a、及び異物除去部材8aをダイシングチャックテーブル2の表面に対し平行に移動させる移動機構8bとを設けた構成にする。
請求項（抜粋）：
ダイシングテープを介してウェハを固定するためのダイシングチャックテーブルの表面に摺接可能な異物除去部材と、この異物除去部材を前記ダイシングチャックテーブル面に対し平行に移動させる移動機構とを具備することを特徴とするダイシングチャックテーブルの異物除去装置。
IPC (3件)：
H01L 21/78
, B08B 1/00
, H01L 21/68
