特許

J-GLOBAL ID：200903056391912379

紫外光学用人工結晶、これを用いた光学基材及び光リソグラフィー装置

発明者： 塩澤 正樹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-191978
公開番号（公開出願番号）：特開2001-019596
出願日： 1999年07月06日
公開日（公表日）： 2001年01月23日
要約：

【要約】【課題】F2レーザなどの真空紫外光を光源とした光リソグラフィー装置に向けた光学基材の品質によっては、転写パターンの解像が得られない。【解決手段】フッ化カルシウム結晶を主成分とし、マグネシウム濃度が3ppm以下、ナトリウム濃度が0.2ppm以下、イットリウム濃度が0.2ppm以下、クロム濃度が0.2ppm以下、マンガン濃度が0.2ppm以下、代表径が2.5cm以上であり633nm複屈折が5nm/cm以下である人工単結晶を提供し、これを紫外線光学系用の光学基材とする。

請求項（抜粋）：

フッ化カルシウム結晶を主成分とし、マグネシウム濃度が3ppm以下、ナトリウム濃度が0.2ppm以下、イットリウム濃度が0.2ppm以下、クロム濃度が0.2ppm、マンガン濃度が0.2ppm以下である紫外光学用人工結晶。

IPC (5件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 ,  C30B 15/00 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C30B 29/12 ,  C30B 11/00 Z ,  C30B 15/00 Z ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D

Fターム (13件)：

2H097BA10 ,  2H097CA12 ,  2H097LA10 ,  4G077AA02 ,  4G077AB01 ,  4G077BE02 ,  4G077CD10 ,  4G077CF10 ,  4G077EB01 ,  4G077GA01 ,  4G077HA01 ,  5F046CA07 ,  5F046CA10