特許
J-GLOBAL ID：200903056401080911
ダイヤモンド状カーボン膜の形成方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-004974
公開番号（公開出願番号）：特開平8-193270
出願日： 1995年01月17日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンド構造に富むダイヤモンド状カーボン膜を得ることが出来る技術を提供することである。【構成】 支持体上にDCマグネトロンスパッタ法によりカーボンを付けた後、その上にECRマイクロ波プラズマCVD法によりカーボン膜を形成するダイヤモンド状カーボン膜の形成方法。
請求項（抜粋）：
支持体上にDCマグネトロンスパッタ法によりカーボンを付けた後、その上にECRマイクロ波プラズマCVD法によりカーボン膜を形成することを特徴とするダイヤモンド状カーボン膜の形成方法。
IPC (4件)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, C30B 29/04
, G11B 5/84
