樹脂フィルムのレーザ加工方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：成瀬勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-184612
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001560
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】寸法精度及び位置精度の向上と、被加工物の加工煤付着による品質の低下を防止した高精度のレーザ加工方法を提供する。【解決手段】レーザ加工される樹脂フィルム3のレーザ照射面となる第1面に、0.04〜5.0N/cmの表面剥離強度を有する5〜100μmの厚みのアクリル樹脂系粘着層2と5〜110μmの銅箔層1とからなる粘着層付き銅箔5を接着し、得られた積層フィルムの銅箔層に開口部6を形成し、次いで、前記第1面とは反対面に、前記粘着層と銅箔層又は和紙若しくはポリエステル樹脂系保護フィルム層からなる粘着層付き銅箔又は保護フィルム4を接着してレーザ加工用の積層体とし、この積層体の第1面側の開口部を含む所定の範囲に、掃引された連続発振の炭酸ガスレーザビームを照射して、レーザ加工した後、両面に接着した粘着層付き銅箔又は保護フィルムを剥離する樹脂フィルムのレーザ加工方法。

請求項（抜粋）：

レーザ加工される樹脂フィルムのレーザ照射面となる第1面に、アクリル樹脂系粘着剤から構成され、0.04〜5.0N/cmの表面剥離強度(JIS Z1528)を有する5〜100μmの厚みの粘着層と5〜110μmの銅箔層とからなる粘着層付き銅箔を、粘着層を介して接着して積層フィルムとし、この積層フィルムの銅箔層に開口部を形成し、次いで、前記樹脂フィルムの第1面とは反対面となる第2面に、アクリル樹脂系粘着剤から構成され、0.04〜5.0N/cmの表面剥離強度(JIS Z1528)を有する粘着層と銅箔層又は和紙若しくはポリエステル樹脂が含まれてなる保護フィルム層からなる粘着層付き銅箔又は保護フィルムを、粘着層を介して接着してレーザ加工用の積層体とし、この積層体の第1面側の開口部を含む所定の範囲に、掃引された連続発振の炭酸ガスレーザビームを照射して、前記樹脂フィルムをレーザ加工した後、前記第1面及び第2面に接着した粘着層付き銅箔又は保護フィルムを剥離することを特徴とする樹脂フィルムのレーザ加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/00 330 , B23K 26/00 , B23K 26/18 , B29C 59/16

FI (4件)：

B23K 26/00 330 , B23K 26/00 G , B23K 26/18 , B29C 59/16

Fターム (21件)：

4E068AF01 , 4E068AJ04 , 4E068DA11 , 4E068DA14 , 4E068DB10 , 4E068DB14 , 4F209AA21 , 4F209AA24 , 4F209AA39 , 4F209AA40 , 4F209AC03 , 4F209AD03 , 4F209AD08 , 4F209AG01 , 4F209AG05 , 4F209PA15 , 4F209PB01 , 4F209PC05 , 4F209PG05 , 4F209PG14 , 4F209PW21

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