特許
J-GLOBAL ID：200903056404447085
サーボ式静電容量型真空センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-150748
公開番号（公開出願番号）：特開平11-326093
出願日： 1998年05月14日
公開日（公表日）： 1999年11月26日
要約：
【要約】【課題】 振動に対する感応性を抑え、製造バラツキや温度による熱膨張の依存性を少なくし、真空センサごとの静電容量計測を不要とし、測定精度を向上させ、小型で高感度で広範囲の圧力測定を行え、特に微小圧力の測定に適したサーボ式静電容量型真空センサを提供する。【解決手段】 シリコン基板12とパイレックス基板13,14 からなる積層構造を有し、電極部20と静電容量を検出するための電極とサーボ電極とを備え、外部と内部を連通する導入口15が形成されるサーボ式静電容量型真空センサである。電極部は、ほぼ中央に形成される肉薄の可動電極21と、可動電極の周囲に位置して可動電極を支持する肉厚の周囲電極22から構成される。可動電極に対向する固定電極24および凸状サーボ電極16と周囲電極に対向する参照電極25が設けられる。
請求項（抜粋）：
シリコン基板を第1ガラス基板と第2ガラス基板の間に配置し、前記シリコン基板と前記第1ガラス基板、前記シリコン基板と前記第2ガラス基板をそれぞれ接合して三層構造を形成し、前記シリコン基板は電極部を備え、前記電極部と前記第1ガラス基板の間には気体導入口を通して外部と通じる第1内部空間が形成され、前記電極部と前記第2ガラス基板の間には高真空状態に保持される第2内部空間が形成され、前記電極部は前記気体導入口から前記第1内部空間に導入された気体の圧力を受け、前記電極部は、前記気体の圧力を受けて変位する可動電極と、前記可動電極の周囲に前記可動電極を支持するように形成されかつ前記気体の圧力を受けても変位しない周囲電極とからなり、前記可動電極の前記第2内部空間側の面と前記周囲電極の前記第2内部空間側の面は同一面として形成され、前記第2ガラス基板における前記第2内部空間側の面に、前記可動電極に対向する固定電極と、前記周囲電極に対向する参照電極を設け、前記第1ガラス基板における前記第1内部空間側の面に、前記可動電極に接近して対向する凸状サーボ電極を設けた、ことを特徴とするサーボ式静電容量型真空センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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