特許
J-GLOBAL ID：200903056414430776
螺旋状部材の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-208163
公開番号（公開出願番号）：特開平6-049670
出願日： 1992年08月04日
公開日（公表日）： 1994年02月22日
要約：
【要約】【目的】 螺旋状部材の製造方法を、螺旋状部材を数十〜数百μmオーダの大きさで製造することができるようにする。【構成】 螺旋状部材の製造方法は、コイル芯材11の外周に絶縁膜12を堆積する絶縁膜堆積工程と、絶縁膜12の外周に導電膜13を堆積する導電膜堆積工程と、導電膜13の外周にレジスト膜14を塗布し、コイル芯材11を回転させながら光線Lを図示矢印方向に移動させてレジスト膜14を露光してレジスト膜14に螺旋状の溝15を形成するとともに溝15の底部の導電膜13を露出させたのち、導電膜13の露出部分をエッチングするとともにレジスト膜14を除去することにより、導電膜13が螺旋状にエッチングされて形成された微小コイル16を得るエッチング工程とを含む。
請求項（抜粋）：
芯材の外周に導電膜を堆積する導電膜堆積工程と、該導電膜堆積工程で堆積された前記導電膜を螺旋状にエッチングして螺旋状導線を形成するエッチング工程とを含む螺旋状部材の製造方法。
IPC (6件)：
C23F 4/00
, B23K 15/00 502
, C23C 14/14
, C23F 1/00 101
, F16F 1/06
, H01F 5/00
