特許

J-GLOBAL ID：200903056426142768

微分干渉顕微鏡

発明者： 松爲 久美子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-194889
公開番号（公開出願番号）：特開2003-015042
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】 視野の均一性を確保できる微分干渉顕微鏡を提供すること。【解決手段】 光源1からの照明光はコレクタレンズ2によって集光された後、ビームスプリッタBS1で反射されてコンデンサレンズの役割を兼ねた対物レンズ3へ向かい、対物レンズ3を介して標本4を照明する。標本4上で反射された照明光は対物レンズ3によって集光され、ビームスプリッタBS1を透過した成分が結像して拡大像5を形成する。コレクタレンズ2とビームスプリッタBS1の間の光路中には偏光子P1が、ビームスプリッタBS1と対物レンズ3の間の光路中には、対物レンズ3の後側焦点面近傍に、光軸Iに垂直な平面γ対して傾き角度ηとなるように傾けて配置したノマルスキィプリズムからなる複屈折光学部材BP1が、またビームスプリッタBS1と拡大像5の間の光路中には検光子A1がそれぞれ配置されている。

請求項（抜粋）：

所定の振動方向を持つ偏光光を、複屈折光学部材へ入射させて、偏光方向が互いに直交する2つの直線偏光成分に分離し、分離された該2つの直線偏光成分を対物レンズを介して被検物へ照射し、該被検物を反射した前記2つの直線偏光成分を前記対物レンズを経由させて、前記複屈折光学部材へ導いて1つの光に合成し、合成された光束の両直線偏光成分を偏光干渉させ、干渉した光束により前記被検物の前記対物レンズによる像を形成する微分干渉顕微鏡において、前記複屈折光学部材は楔面と基準面を有し、光軸と楔面法線を含む面内において、前記光軸と垂直な平面に対して16度以上40度以下の範囲で楔角方向に傾けて配置されていることを特徴とする微分干渉顕微鏡。

IPC (6件)：

G02B 21/00 ,  G02B 5/04 ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/14 ,  G02B 27/28

FI (7件)：

G02B 21/00 ,  G02B 5/04 B ,  G02B 5/04 D ,  G02B 5/30 ,  G02B 21/06 ,  G02B 21/14 ,  G02B 27/28 Z

Fターム (18件)：

2H042CA09 ,  2H042CA14 ,  2H042CA17 ,  2H049BA02 ,  2H049BA05 ,  2H049BA42 ,  2H049BB03 ,  2H049BC23 ,  2H052AA05 ,  2H052AB24 ,  2H052AB26 ,  2H052AC05 ,  2H052AC18 ,  2H052AC30 ,  2H099AA00 ,  2H099BA09 ,  2H099CA06 ,  2H099CA11