特許

J-GLOBAL ID：200903056432344992

感放射線性樹脂組成物

発明者： 米田 英司 ,  永井 智樹
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (4件)： 小島 清路 ,  萩野 義昇 ,  谷口 直也 ,  早川 大刀夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-348402
公開番号（公開出願番号）：特開2007-155925
出願日： 2005年12月01日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】高解像度であり且つLERに優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】本感放射線性樹脂組成物は、ラクトン骨格を有する繰り返し単位を含むアルカリ不(難)溶性の樹脂と、ベンゼンスルホン酸を発生する酸発生剤と、式(I-A)又は(I-B)の構造を有する化合物からなる酸発生剤とを含む。〔Z1、Z2は相互に独立にフッ素原子又は炭素数1〜10の直鎖状若しくは分岐状のパーフルオロアルキル基、Y1は単結合又は2価の基、Rは置換基、kは0〜5、nは0〜5の整数。Rが複数存在する場合、2以上のRが相互に結合して環を形成してもよい。〕【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

(A)少なくともラクトン骨格を有する繰り返し単位を含むアルカリ不溶性又はアルカリ難溶性の樹脂と、(B-1)置換又は非置換のベンゼンスルホン酸を発生する感放射線性酸発生剤と、(B-2)下記一般式(I-A)又は(I-B)で表される構造を有する化合物からなる感放射線性酸発生剤と、を含むことを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C08F 22/20

FI (4件)：

G03F7/039 601 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R ,  C08F22/20

Fターム (25件)：

2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE07 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100BA11P ,  4J100BC04P ,  4J100BC08P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53P ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100DA04 ,  4J100DA39 ,  4J100DA40 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭59-45439号公報
  

審査官引用 (1件)

• 酸発生剤、スルホン酸、スルホン酸誘導体および感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-189133   出願人：JSR株式会社