特許

J-GLOBAL ID：200903056435800433

化学レーザ装置

発明者： 藤井 洋郎 ,  藤岡 知夫
出願人/特許権者： 財団法人応用光学研究所
代理人 (1件)： 役 昌明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-049974
公開番号（公開出願番号）：特開平11-233860
出願日： 1998年02月17日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：

【要約】【課題】 化学励起酸素-沃素レーザ装置においては、発生される励起酸素の圧力が低く、共振空洞における必要な作動圧力が高いので、作動ガスをポンプで効率よく加圧して共振空洞へ供給すること。【解決手段】 励起酸素を発生する励起酸素発生器10と、沃素ガスを発生する沃素ガス発生器25と、励起酸素および沃素ガスを混合する混合手段24と、励起酸素および沃素ガスよりなる混合ガスでレーザ光線を発生する共振器20とを備えた化学レーザ装置において、混合手段24と共振器20との間に、混合ガスに衝撃波を発生させるメッシュ31と、このメッシュ31を通過した混合ガスを加圧するターボ・ブロア32と、このターボ・ブロア32で加圧された混合ガスを加圧して共振器20へ供給する加圧ポンプ30とを配置したものである。

請求項（抜粋）：

励起酸素を発生する励起酸素発生器と、沃素ガスを発生する沃素ガス発生器と、励起酸素および沃素ガスを混合する混合手段と、励起酸素および沃素ガスよりなる混合ガスでレーザ光線を発生する共振器とを備えた化学レーザ装置において、混合手段と共振器との間に、上記混合ガスに衝撃波を発生させるメッシュと、該メッシュを通過した上記混合ガスを加工するターボ・ブロアと、該ターボ・ブロアで加圧された上記混合ガスを加圧して上記共振器へ供給する加圧ポンプとを配置したことを特徴する化学レーザ装置。