特許
J-GLOBAL ID：200903056446805178
光学式変位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-065891
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257467
出願日： 1996年03月22日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 対象面(被検知物体)の傾きや装置の設置角度の許容量が大きく、検出誤差が小さく、雑音が生じ難い光学式変位測定装置を提供することである。【解決手段】 被検知物体90に対して光ビームを投光する投光手段1と、投光手段1の側方に所定間隔を置いて配設され、被検知物体90による光ビームの反射光を集光する集光手段2と、集光手段2の集光面に配設され、集光スポットの移動により一対の検知信号を出力するPSD3とを備え、投光手段1を、LD11、コリメータレンズ12、対物レンズ13、円形開口14、光学フィルタ15で構成し、円形開口14をコリメータレンズ12と対物レンズ13との間の光路上に配置し、円形開口14の開口径を対物レンズ13の入射瞳径よりも小さくし、被検知物体90に対する投光スポットの強度分布がほぼフラットになるようにした。
請求項（抜粋）：
被検知物体に対して光ビームを投光する投光手段と、この投光手段の側方に所定間隔を置いて配設され、被検知物体による光ビームの反射光を集光する集光手段と、この集光手段の集光面に配設され、集光スポットの移動により一対の検知信号を出力する光点位置検出素子と、この光点位置検出素子の一対の検知信号に基づいて被検知物体を判別する判別手段とを備える光学式変位測定装置において、前記投光手段は、投光素子と、投光素子からの光ビームを平行光にするコリメータレンズと、コリメータレンズを通過した光を被検知物体に投光する対物レンズと、コリメータレンズと対物レンズとの間の光路上に配置された円形開口とで構成され、前記円形開口の開口径を対物レンズの入射瞳径よりも小さくし、被検知物体に対する投光スポットの強度分布がほぼフラットになるようにしたことを特徴とする光学式変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01C 3/06 A
, G01B 11/00 B
, G01B 11/00 F
