反射板の製造方法及び反射板

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：樺山亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268970
公開番号（公開出願番号）：特開2000-321410
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】設計に対して高精度に凹凸を作製することが可能であり、基板間もしくはバッチ間のバラツキが少ない反射板を安定して作製することができる反射板の製造方法を提供する。【解決手段】本発明では、基板1上に傾斜や曲面を有する凹凸部を形成し、該凹凸部上に光反射機能を有する薄膜3を形成した反射板の製造方法において、上記凹凸部の形成材料には感光性樹脂を用い、上記基板1上に感光性樹脂層2を形成した後、該感光性樹脂層2にフォトリソグラフィー工程により凹凸部を形成すると共に上記凹凸部の傾斜方向に対して感光性樹脂の露光量を過渡的に変化させることで該凹凸部に傾斜や曲面を形成するので、設計に対して高精度に凹凸を作製することができる。

請求項（抜粋）：

基板上に傾斜や曲面を有する凹凸部を形成し、該凹凸部上に光反射機能を有する薄膜を形成した反射板の製造方法において、上記凹凸部の形成材料には感光性樹脂を用い、上記基板上に感光性樹脂層を形成した後、該感光性樹脂層にフォトリソグラフィー工程により凹凸部を形成すると共に上記凹凸部の傾斜方向に対して感光性樹脂の露光量を過渡的に変化させることで該凹凸部に傾斜や曲面を形成することを特徴とする反射板の製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/08 , G02F 1/1335 520 , G03F 1/08

FI (3件)：

G02B 5/08 C , G02F 1/1335 520 , G03F 1/08 B

Fターム (28件)：

2H042BA04 , 2H042BA15 , 2H042BA20 , 2H042DA02 , 2H042DA04 , 2H042DA10 , 2H042DA11 , 2H042DA12 , 2H042DC08 , 2H042DC12 , 2H042DE00 , 2H091FA14Z , 2H091FA16Z , 2H091FB04 , 2H091FB08 , 2H091FC01 , 2H091FC02 , 2H091FC10 , 2H091FC29 , 2H091LA12 , 2H095BB06 , 2H095BB14 , 2H095BB25 , 2H095BB32 , 2H095BB33 , 2H095BB36 , 2H095BC01 , 2H095BC04

前のページに戻る