摺動部材

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-326451
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178088
出願日： 1994年12月27日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【構成】レーザーラマン分光法によるラマンスペクトルのピークが1200〜1400cm-1と1500〜1600cm-1の少なくとも一方の範囲にあり、上記ピークは平坦部分に対する強度比が2倍以上であり、かつ上記ピークにおける最大強度の90%以上の頂部の幅が10cm-1以上であるような非晶質硬質炭素膜を形成して摺動部材を構成する。【効果】長期間にわたって優れた摺動性と耐摩耗性を維持することの可能な摺動部材を得ることができる。また、レーザーラマン分光法によって非晶質硬質炭素膜の結晶構造を管理できることから、バラツキがなく安定した特性の摺動部材を得ることができる。

請求項（抜粋）：

摺接面に非晶質硬質炭素膜を備えてなる摺動部材において、上記非晶質硬質炭素膜は、レーザーラマン分光法によるラマンスペクトルのピークが1200〜1400cm-1と1500〜1600cm-1の少なくとも一方の範囲にあり、上記ピークは平坦部分に対する強度比が2倍以上であり、かつ上記ピークにおける最大強度の90%以上の頂部の幅が10cm-1以上であることを特徴とする摺動部材。

IPC (5件)：

F16K 3/02 , C01B 31/02 101 , C04B 41/87 , C23C 14/06 , C23C 16/26

引用特許：

審査官引用 (2件)

セラミックバルブ用部材及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-042129 出願人：東陶機器株式会社, 日本アイ・ティ・エフ株式会社
摺動部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-100902 出願人：住友電気工業株式会社

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