湿度センサ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-165318
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357579
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】被毒物質を含む被測定雰囲気、及び高温雰囲気であっても感湿層の劣化が抑えられ、長期に渡って安定した性能が維持される湿度センサを提供する。【解決手段】この湿度センサ1は、アルミナ等からなる絶縁基板11、アルミナ、チタニア及び酸化スズ等を所定の質量比で含有する感湿層13、Pt、Au等の貴金属からなる検知電極(下部電極12及び上部電極14)、並びにアルミナ、スピネル、ジルコニア等のいずれかの金属酸化物及び複合酸化物からなり、多孔質体である保護層15を備える。検知電極も多孔質体とすることができ、感湿層も多孔質体であることが好ましい。また、絶縁基板の内部には、ヒータ111及び測温抵抗体112が配設され、これらが絶縁基板の内部において感湿層の直下に配設されていることが好ましい。

請求項（抜粋）：

絶縁基板、感湿層、検知電極及び保護層を備える湿度センサにおいて、該保護層は金属酸化物又は複合酸化物からなり、且つ多孔質体であることを特徴とする湿度センサ。

FI (3件)：

G01N 27/12 G , G01N 27/12 J , G01N 27/12 M

Fターム (30件)：

2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BB02 , 2G046BC05 , 2G046BE03 , 2G046BF01 , 2G046DB05 , 2G046EA01 , 2G046EA08 , 2G046EA09 , 2G046EA11 , 2G046EA12 , 2G046EB07 , 2G046FB02 , 2G046FB03 , 2G046FE00 , 2G046FE03 , 2G046FE10 , 2G046FE18 , 2G046FE19 , 2G046FE20 , 2G046FE23 , 2G046FE27 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE45 , 2G046FE48 , 2G046FE49

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開昭61-245049
特開平4-318449
特開昭61-245049

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