特許
J-GLOBAL ID：200903056454225903
ペレツト取り出し装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-191639
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036817
出願日： 1991年07月31日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：
【要約】【目的】 粘着シート上に貼着した半導体ペレットを粘着シートを破損することなく容易に取り出すペレット取り出し装置を提供する。【構成】 粘着材13を所定幅と間隔でストライプ状に整列・塗布した粘着シート11上に半導体ウェーハを貼着して個々のペレット1に細分割し、粘着シート面に対し植立姿勢で上下動し、且つ、先端部幅方向を粘着材13のストライプ方向に直角に配した板状突き上げピン12を、粘着シート13の下方より突き上げて半導体ペレット1を粘着シート11から剥離する。
請求項（抜粋）：
整列状態で多数のペレットを貼り付けた粘着シートの下方にブレード状の突き上げ部材を上下動自在に配置したことを特徴とするペレット取り出し装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
